當前位置:首頁 >產品中心>半導體前處理>安賽斯勻膠機/旋涂儀>HC150SE可編程精密勻膠機
產品分類
Product Category相關文章
Related Articles詳細介紹
可編程精密勻膠機
型號:HC150SE
HC150SE可編程精密勻膠機,采用高級PLC 全自動程序控制,轉速精度高,穩定性好??捎糜谖㈦娮?、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。
特點:
l 設計緊湊,可輕松放置在手套箱內使用。
l HDPE高分子材料旋涂內腔,耐腐蝕;采用分體式結構,易清洗和移動。
l 4.3英寸彩色觸屏控制,易學易用,可精確設置實驗參數,運行狀態實時顯示;
l 經CNC一體加工成型的HDPE內腔,內腔壁采用凹面設計,有效防濺;
l采用高級PLC程序控制,旋涂速度、旋涂時間、加速度等工藝參數可編程,實現快速旋涂和多步編程旋涂;
l 具有電機進膠保護功能;管路易疏通結構設計;
l 轉速、加速度、時間、真空泵關/停、自動吸片、自動釋放均可在觸屏上操作。
l 可設置用戶密碼保護功能;
技術參數:
l 適用晶元尺寸范圍:?10~150mm;
l 旋涂速度:100~12000rpm;
l 轉速分辨率:1rpm;
l 旋涂加速度:100-30000rpm/s;
l 最大旋涂時間:3000s;
l 旋涂時間精度:0.1s;
l 內腔直徑212mm,內腔采用*的凹面防濺設計;
l 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程10組程序,每組程序10步;
l 電源輸入:AC200-230V
可編程精密勻膠機設備外形尺寸:長X寬X高:310X254X250mm
產品咨詢
官方微信
公司官網